MEMS熱式流量傳感器依托其獨(dú)特的“微型化結(jié)構(gòu) + 極低熱容”特性，具備靈敏度高、響應(yīng)速度快和制造成本低等優(yōu)勢(shì)，已在生物醫(yī)療、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)顯著經(jīng)濟(jì)價(jià)值。但在電子特氣密集使用的半導(dǎo)體制造等場(chǎng)景，其規(guī)?；渴鹗芟抻诳鐨怏w測(cè)量精度不足——行業(yè)“單一氣體標(biāo)定 + 氣體系數(shù)切換”的生產(chǎn)和應(yīng)用模式下，MEMS流量傳感器氣體系數(shù)相關(guān)研究匱乏，使其無(wú)法適配多元特氣的精準(zhǔn)測(cè)控需求。
針對(duì)該現(xiàn)狀，團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)了一款多孔硅隔熱支撐結(jié)構(gòu)的高可靠MEMS熱式流量傳感器，并創(chuàng)新提出氣體系數(shù)的“理論-實(shí)驗(yàn)”兩步計(jì)算方法：通過(guò)構(gòu)建解析傳感器的二維傳熱模型，推導(dǎo)出輸出信號(hào)與氣體熱物性參數(shù)的關(guān)聯(lián)式，輔以實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行式中特征指數(shù)修正，形成通用氣體系數(shù)計(jì)算式。該式僅需調(diào)用氣體熱物性參數(shù)即可快速求解，驗(yàn)證顯示不同情況下特氣轉(zhuǎn)換誤差可控制在0.5~6.4%FS以內(nèi)。相較于傳統(tǒng)實(shí)驗(yàn)法，該方法無(wú)需依賴大量實(shí)氣測(cè)試，能夠顯著提升生產(chǎn)效率與安全性，兼具重要工程應(yīng)用價(jià)值與學(xué)術(shù)參考意義。
陶繼方教授，國(guó)家級(jí)人才，曾獲泰山青年學(xué)者，齊魯青年學(xué)者，長(zhǎng)期深耕工業(yè)級(jí)MEMS智能傳感器、集成硅光傳感器等研究領(lǐng)域，發(fā)表高水平SCI論文80余篇，申請(qǐng)發(fā)明專利40余項(xiàng)。相關(guān)研究工作獲得科技部、工信部、GF等國(guó)家級(jí)項(xiàng)目支持。
合作單位青島芯笙微納電子科技有限公司，依托山東大學(xué)科研底蘊(yùn)孵化創(chuàng)立，在MEMS流量傳感器領(lǐng)域最早實(shí)現(xiàn)“芯片設(shè)計(jì)-組件開(kāi)發(fā)-儀表集成”全產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的高科技企業(yè)，并在國(guó)內(nèi)首次將MEMS流量芯片技術(shù)應(yīng)用于半導(dǎo)體制造，其創(chuàng)新成果可為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體裝備自主可控提供關(guān)鍵技術(shù)保障。
